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氦氣在氦質譜檢漏技術中的應用原理

氦質譜檢漏儀用氦氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。是一種應用于國內外的真空容器檢漏先進技術。與一般的檢漏技術相比,氦質譜檢漏技術快速、準確、靈敏度高及無損傷性等優點。氦質譜檢漏

儀的示蹤氣體也可以是其他元素。但通常選用氦氣,因為氦氣具有以下特性:

1、氦氣在空氣中的含量極少,只占約二十萬分之一,易于發現;

2、氦分子小、質量輕、易擴散、比其它氣體易穿越漏孔;

3、氦離子荷質比小,易于進行質譜分析;

4、氦氣是無毒、無味,對大氣無污染。

5、氦氣是惰性氣體,化學性質穩定,不會腐蝕和損傷設備;

6、氦氣無毒,不凝結,極難容于水。

正因為氦氣具有以上特性,所以氦氣檢漏應用已從科研院所到工業企業乃至到個體企業,可以說應用領域極其寬廣

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